1) 根据泵浦方法:它可以分为电泵浦、光泵浦、化学泵浦、热泵浦和核泵浦激光器。电泵浦激光器是指由电流激发的激光器(气体激光器多由气体放电激发,而半导体激光器多由电流注入激发);光泵浦激光器是指由光泵浦激发的激光器(几乎所有固态激光器都由气体放电激发)。激光器和液体激光器都是光泵浦激光器,半导体激光器是光泵浦激光的核心泵浦源);化学泵浦激光器是指利用化学反应释放的能量激发工作物质的激光器。
2) 根据工作模式:可分为连续激光和脉冲激光。CW激光器中每个能级的粒子数和腔中的辐射场具有稳定的分布。其工作特性是工作材料的激发和相应的激光输出可以在长时间范围内以连续的方式连续稳定地进行,但热效应。明显的脉冲激光是指激光功率保持在一定值并以不连续方式输出激光的时间。其主要特点是峰值功率高,热效应小,可控性好。根据脉冲时间长度,它可以进一步分为毫秒、微秒、纳秒、皮秒和飞秒。脉冲时间越短,单脉冲能量越高,脉冲宽度越窄,加工精度越高。
3) 根据输出功率:分为低功率(0-100W)、中等功率(100-1000W)、高功率(1000W以上),不同功率的激光器适用于不同的应用场景。
4) 根据波长:可分为红外激光器、可见光激光器、紫外激光器、深紫外激光器等。不同结构的物质可以吸收不同波长的光,因此需要不同波长的激光器对不同材料或不同应用场景进行精加工。红外激光器和紫外激光器是使用最广泛的两种激光器:红外激光器主要用于“热处理”,加热和蒸发(蒸发)材料表面的物质以去除材料;在晶圆切割、有机玻璃切割/钻孔/标记等领域,高能紫外线光子直接破坏非金属材料表面的分子键,使分子与物体分离。对于“冷加工”,紫外激光在微加工领域具有不可替代的优势。
由于紫外光子的能量很高,很难通过外部激发源产生一定的高功率连续紫外激光。因此,紫外激光一般是通过晶体材料的非线性效应频率转换方法产生的。因此,工业领域广泛使用的紫外激光器主要是固体紫外激光器。激光
5) 按增益介质分:固态(固体、光纤、半导体等)、气体、液体、自由电子激光器等。激光器分为:①液体激光器和气体激光器,由于效率低,需要高频更换工作材料和维护,目前仅利用其特殊的财产,应用于利基市场;②目前的自由电子激光器技术还不够。虽然它具有频率连续可调、频谱范围广的优点,但短期内难以广泛应用。
③ 固态激光器目前使用最广泛,市场份额最高。它们通常分为以晶体为工作材料的固态激光器和以玻璃纤维为工作材料(在过去20年中,由于电光转换效率和光束质量的考虑,它们获得了蓬勃的发展)的光纤激光器,目前有少量的灯如氙气闪光灯被用作泵浦源,并且它们中的大多数使用半导体激光器作为泵浦源。半导体激光器是使用半导体材料作为激光介质的激光二极管,并将电流注入二极管的有源区作为泵浦方法(光由电子受激辐射产生)。它具有电光转换效率高、体积小、寿命长的特点。虽然它也是一种固态激光器,但由于光束质量差,半导体激光器直接产生的光在直接应用领域受到限制。多个场景。